北科大副校長楊重光(右四)、益昇系統科技總經理張振光(左四)、華景電通總經理古震維(左二)、台灣高科技廠房設施協會祕書長張陸滿(右二)、北科大能源系特聘教授胡石政(右三)等共同為北科大半導體廠務與設備中心揭牌。 吳佳汾/攝影

北科大成立半導體廠務與設備中心

本文轉載自經濟日報 吳佳汾

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北科大副校長楊重光表示,北科大具備世界級半導體業的開放式研究環境,相關產學合作計畫金額達上千萬元,半導體創新技術研發成果豐碩。去年與陽明交大簽訂學術合作協議,以北科大專精的機械、材料等製程及設備技術,結合陽明交大與半導體業界的聯合開發經驗,共同提升雙方的研究創新能力。

北科大半導體廠務暨製程設備研發中心主任為能源與冷凍空調工程系特聘教授胡石政,研究專長涵蓋半導體製造設備及環境,包括潔淨室空調及空氣品質、微粒過濾、化學微汙染控制、廠房節能、晶圓及光罩模組等自動化運輸設備的汙染控制等。

中心合作教授為北科大能源與冷凍空調工程系教授施陽正,研究專長包括氣流模擬分析在冷凍空調的應用、計算流體力學的工程應用、熱舒適度與熱流應用研究、能源科技等相關技術。

胡石政表示,半導體廠務暨製程設備之市場商機每年至少5,000億以上,目前已有5家廠商與北科大合作技術升級、產品專利技轉,研發中心的設立將持續攜手更多企業共同搶攻高科技廠務設備市場,做台灣半導體王國的骨架。期待攜手益昇系統科技、華景電通,透過中心的設備與研發能量,輔佐技術升級發展,促進產業群聚效應。

華景電通主要產品為「晶圓製程氣態汙染物(AMC)防治設備」,用於半導體高階製程環境控制及高潔淨度要求的解決方案。在製程中,環境的AMC會影響晶圓的良率,隨著晶圓線徑越小,AMC對良率影響越大。晶圓於載具輸送時的環境條件控制及潔淨化極為關鍵,潔淨的環境能有效提高晶圓良率,降低AMC對晶圓產生的危害,提高生產效率。

益昇系統科技主要業務為大型空調系統、醫用無菌室、電子業高科技無塵室及相關機電、製程管線的規劃、設計及建造,尤以節能為特長,最佳化設計高效能低成本的空調系統。

北科大半導體廠務與設備中心揭牌貴賓大合影。 吳佳汾/攝影
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